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1、真空鍍(dù)膜電源每完成200個鍍膜程序以(yǐ)上,應清潔工作室一次。方法是:用燒堿(NaOH)飽和溶液反複擦洗真空室內壁,( 注意(yì)人體皮膚不可(kě)以直接接觸燒(shāo)堿(jiǎn)溶液(yè),以免(miǎn)灼(zhuó)傷)目的是使鍍上去的膜(mó)料鋁(AL)與NaOH發生反應,反應後膜層脫落,並釋放出氫氣。再用(yòng)清水清洗真空室和用布沾汽(qì)油清(qīng)洗精抽(chōu)閥內的汙垢。
2、當粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續工作一個月(雨季(jì)減半),需更換新油。方法是:擰開放(fàng)油螺(luó)栓,放掉舊油,再將泵啟動數秒,使泵內的舊油完全排放出來(lái)。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續使用半(bàn)年以上,換油時(shí)應將油蓋打開,用布擦幹淨(jìng)箱內汙(wū)垢。
3、擴散泵連續使用6個(gè)月以上,抽(chōu)速明顯變(biàn)慢,或(huò)操(cāo)作(zuò)失當,充入大氣(qì),拆去聯結水管,卸下電爐盤,將一級噴嘴擰(nǐng)出,先用汽油(yóu)將泵腔及泵膽清洗一遍,再用(yòng)洗衣(yī)粉(fěn)兌水清洗一遍,然後用清水徹底清洗幹淨,待水份揮發幹以後,裝好泵膽,加(jiā)入(rù)新(xīn)擴散泵油,並裝回機體,接好水(shuǐ)管,裝好電爐盤,便可以重(chóng)新開機。在(zài)重新開機前,要注意檢漏工作。方法是:啟動維持泵,關(guān)好(hǎo)大門(mén),數分鍾後(hòu),觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕,否(fǒu)則要進行檢漏(lòu)。檢查聯接處是否裝密(mì)封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱(yǐn)患後方可加熱(rè),否則擴散泵油會燒環(huán)無法進入工作狀態。

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