偏壓（yā）電源類型

2024-06-10 10:00:34

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脈衝偏壓電源是真空電弧離（lí）子鍍和（hé）磁控濺射鍍膜或其（qí）他真空物理氣相沉積設備（bèi）的（de）重要組成部分，對於不同的鍍膜工藝，偏壓電源也分為不同的類型

根據波形可以分為：

一（yī）、直流偏壓電源

二、直流（liú）脈衝偏置

主要（yào）特點（diǎn）

1.高（gāo）頻單極脈衝對工件施加偏壓，與直流偏壓相比（bǐ），由於（yú）電壓中斷間隙的存在，可以有效減（jiǎn）少（shǎo）點（diǎn）火次數（shù），保護工件（jiàn）表麵。

2.在脈衝間隙期間，可以中和工件（jiàn）表麵積聚的電荷（hé），從而減少表（biǎo）麵電荷積聚引（yǐn）起（qǐ）的點火。

3.高頻逆（nì）變器技術的快（kuài）速關斷（duàn）能力可以有效（xiào）地減少每個火花釋放的能量，即使在（zài）火花出現（xiàn）時，也可以顯著降低工件表麵的大損（sǔn）傷程度。

4.在脈衝間隙期間沉積到工（gōng）件表麵的離子能量非常低。

5.可以通過調節頻率和占空比來提高和控（kòng）製成膜速度（dù）和質量。

偏壓電源

三、直流疊加脈衝偏置

主要特點

1.具有單（dān）極脈衝偏置電（diàn）源的所有特（tè）性。

2.在直流和直流疊加脈衝模式下，消（xiāo）除了單極脈衝間隙之間離（lí）子能量低的問題。

四、雙極脈衝偏置

主要（yào）特點

1.負（fù）脈衝的作用與單極脈衝偏置（zhì）電源相同，正脈衝的作用（yòng）主要是吸引（yǐn）等離（lí）子體中的電子，以（yǐ）中和（hé）工件表麵正（zhèng）電荷的積累。因為（wéi）電子的質量（liàng）比離（lí）子的質量小得多，加速很容易，所以正脈衝（chōng）的（de）振幅比負脈衝的振幅小得多——通常為10~100V，正負（fù）脈衝（chōng）的電流積分應（yīng）該相等。因此，正電（diàn）源的功率遠小於負電源的功率（lǜ）。

2.當正電源電壓為零時，雙極脈衝偏壓變為單極脈衝偏壓。