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GB/T 11164-2011：《真空鍍膜設備通用技術條件》，規（guī）定電源的電（diàn）氣安全（quán）、絕（jué）緣、接地、溫升（shēng）、噪（zào）聲、可（kě）靠性等基礎要求（qiú）。
GB/T 10067.101-2023：《電熱和電磁處理裝置基本技術條（tiáo）件 第 101 部分：真空電熱和電磁處理裝置的通用要求》，2024 年 7 月實施，對真空設備電源的通用技術、試（shì）驗方法（fǎ）、檢驗規則作出最新規範國家標準委。
GB 5226.1-2019：《機械安全 機械電氣（qì）設備 第 1 部分：通用技術條件》，電源的（de）電氣安全、防護等級（IP）、急停（tíng）、接地等強製要求。
GB/T 15945-2008：《電能質量 三相電壓不平衡》，工（gōng）業電網適配要求。
JB/T 8946-2010：《真空（kōng）離子鍍膜設備》，針對離子（zǐ）鍍、多（duō）弧、磁控濺射電源的專項技術要求。
JB/T 7673：真空設（shè）備電氣控製通用（yòng）規範。
行業專項：《等離子體用射頻電（diàn）源技術規範》《射頻電源（yuán）技術要求》（行業團體標準）。
DB44/T 2432-2023（廣東）：《真空鍍膜裝（zhuāng）備能（néng）效評價規範》，將電壓穩定度、紋波列為一級能（néng）效指標。
光學 / 半導體行業：要求72 小時滿負荷無故障、膜厚（hòu）均勻性誤差（chà）≤±3%。
表格
| 鍍膜工藝 | 推（tuī）薦電源類型（xíng） | 行業標準核心（xīn）要求 |
|---|---|---|
| 多（duō）弧離（lí）子鍍（裝飾 / 工具鍍） | 多弧電源 + 脈衝偏壓 | 滅弧速度＜500μs，穩（wěn）弧能力強，抑製靶中毒 |
| 直流磁控濺射（金屬膜） | 直流磁控電源 | 紋波＜0.1%，輸出穩定度≤±0.1% |
| 中頻 / 雙極（jí）脈衝（反應濺射） | 中頻交流 / 雙極脈衝（chōng）電源 | 雙極平衡，抑製打弧，適合氧化（huà）物 / 氮化物 |
| HIPIMS（高功率脈衝磁（cí）控） | HIPIMS 專用電源 | 高功率密度，脈（mò）衝精度（dù）高，穩（wěn）定性強（qiáng） |
| 光學鍍膜（mó）（AR/AF/ 增透（tòu）） | 高精度直流 / 射頻電源 | 極低紋波（＜0.05%），高精度（±0.1%），超穩定 |
| 射頻濺射 / PECVD（半導體 / 薄膜） | 射頻電（diàn）源（13.56MHz 等） | 自（zì）動匹配（pèi），功率穩（wěn）定，諧波抑製 |
| 電子（zǐ）槍蒸發 | 電子槍高壓電源 | 高壓穩定，紋波小，滅弧快 |
輸入適配：380V±10%/50Hz 三相（xiàng），電壓不平衡度≤2%（GB/T 15945）。
輸出精度（dù）：電壓 / 電流控製精度 ±0.1%~±0.5%（高端光學 / 半導體≤±0.1%）。
穩定度：長期輸出穩定（dìng）度 ≤±0.1%（72 小時（shí）滿負荷）。
紋（wén）波 / 噪聲：直流電源 ＜0.1%（優秀（xiù）＜0.05%）；射頻電源（yuán）諧波抑（yì）製達標。
滅弧 / 抑弧：多弧（hú） / 濺射電源滅弧響應 ＜1μs~500μs，快速滅弧防損壞。
功率冗餘：額定功率≥工藝峰值功率的 1.2~1.5 倍，長期負載≤70%~80% 額定。
絕緣電阻：高壓端對機殼 ≥100MΩ（500V 搖表）。
耐壓測試：輸入 / 輸（shū）出（chū）對地 2kV/1min 無擊穿、閃（shǎn）絡。
接地：保護接地（PE）牢固，接地（dì）電阻 ＜4Ω。
防護等級（jí）：IP20 及以上（防（fáng）止手指接（jiē）觸帶電體）；工業環境可選 IP54。
保護功能：過（guò）壓、過流、過熱、短路、缺相、打火保（bǎo）護，故障自動停機並報警。
MTBF：工業級（jí） ≥50000 小時；高端 ≥100000 小時。
連續運行（háng）：支持 7×24h 滿負荷穩定運行（光學 / 半導（dǎo）體（tǐ）強製）。
環境適應：工作溫（wēn）度 0~45℃，濕度 10%~90% RH（無（wú）凝露）。
散熱：風（fēng）冷 / 水冷設計（jì）符合 GB/T 10067.101，溫升≤40K（環境溫度（dù） + 40℃）。
支持本地 / 遠程控（kòng）製（RS485/Profinet/EtherNet/IP），兼容主流 PLC。
可設定電壓（yā）、電流、功率、脈衝參數（頻率、占空比、雙極平衡）。
具（jù）備數據記錄、故障診斷、曆史查（chá）詢功能。
廠家提供 GB/T 11164、GB 5226.1 等標準（zhǔn）的第三方檢（jiǎn）測報（bào）告（CMA/CNAS）。
提供（gòng） CE、UL、CSA 等國際認證（出口必備）。
提供 MTBF 報告、72 小時滿（mǎn）負（fù）荷測試報告（gào）、紋波（bō） / 穩定度測試報告。
帶載（zǎi）測試：在真空室實（shí）際工況下測試，驗證穩弧、滅弧、紋波、穩定度。
連續運行（háng）：72 小時滿負荷，記錄參數波（bō）動、溫升、故障情況。
兼容性：與真空係統、靶材、工（gōng）件架聯動測試（shì），無異常打（dǎ）火、跳閘。
選擇有（yǒu）真（zhēn）空鍍膜電源專項設計能力、參與行業標準起草的廠家。
要求 2 年質保，提（tí）供現場安裝、調試、培訓、24 小時售後響應。
提供易損件（jiàn）清單（電容（róng）、風扇、IGBT 等（děng））與長期備件供應。
工具 / 裝飾鍍（dù）：優先多弧 + 脈衝偏壓，強調（diào）節能、穩（wěn）弧、滅弧快。
光學（xué） / 玻璃鍍膜：必（bì）須高精度低（dī）紋波直流 / 射頻，穩定度≤±0.1%，72 小時無故障。
半導體（tǐ） / 光伏：射頻 / HIPIMS，自動（dòng）匹（pǐ）配，諧波抑製，超高精（jīng）度與穩定性。
卷繞 / 連續鍍膜：大功率中頻 / 直流，高可靠性，長（zhǎng）壽命設計。
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