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有必要對真空鍍膜電源設備的（de）部件表麵（miàn）進行清潔，因為如果受（shòu）到外界環境的影響，真空係統將無法正常使用，無法達到高真空（kōng）度。
此外，在雜質存在的情（qíng）況（kuàng）下，真空（kōng）元件的連接和（hé）密（mì）封都會受到影響。
汙染（rǎn）物（wù）雜質對於真空來說是完全無用的（de）物質，多弧離子鍍膜（mó）機根據雜質的（de）狀態將其分為（wéi）固體雜質、氣體雜質和液體雜質，它們以顆粒的形式存在。從（cóng）化學的角度（dù）來（lái）看，它既可以是離子的，也可（kě）以（yǐ）是共（gòng）價的，既可以（yǐ）是有機的，也可以是無機的。
暴露在外的外表麵較容易被汙染，而且汙染的種類很多（duō），通常是一開（kāi）始自身操作形成（chéng）的。
應注意表麵吸附、化學反應、清洗和幹燥過程，以及各種操作過程中機械汙漬和表麵汙染物增加的（de）可能性。
前期開（kāi）始注意機器的（de）保養和（hé）清洗，可以減少後期的很多麻煩，防止（zhǐ）濺射鍍膜機各種小問題的發（fā）生，提高工作效率，對真空鍍膜機的鍍膜質量起到非常（cháng）重要的作用。
它可（kě）以較（jiào）大限度地提高真（zhēn）空係（xì）統壁和其他機器配件在不同情況下的穩定（dìng）性（xìng）。
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