| 無法啟動（dòng） | 1. 主電源未接通或電壓異常（cháng） | 1. 檢查供電線路（空氣開關、插座），確認（rèn）電壓符合設備額定值（如 380V/220V） |
| 2. 保險（xiǎn）管 / 熔斷器燒（shāo）毀 | 2. 斷電後更換同規格保險（xiǎn）管（需確（què）認無短路後再更換，避免再（zài）次燒毀） |
| 3. 控製信號（如觸發（fā）信號、遠程控製）未輸入 | 3. 檢（jiǎn）查控製線路（PLC 或手動控製器連接），確（què）保信號電壓 / 電流（liú）符合設備要求（如 0-10V 模擬量） |
| 4. 電源內部接觸器或繼電（diàn）器故障 | 4. 聯係廠家維修或更（gèng）換接（jiē）觸器 / 繼電器（需專（zhuān）業人員操作（zuò）） |
| 輸出（chū）電壓 / 電流不穩（wěn）定 | 1. 輸（shū）入電壓波動過大 | 1. 加裝穩（wěn）壓（yā）器穩定（dìng）供電；檢查電網是否有其他大功率設備幹擾 |
| 2. 連接線路（lù）接觸不良（如電纜（lǎn）接頭（tóu）鬆動（dòng）） | 2. 斷電後重新緊固（gù）電纜接頭（tóu）（尤其是靶材、電極連（lián）接線），清（qīng）潔接頭（tóu）氧化層 |
| 3. 真空度不穩定（真空室漏（lòu）氣或真空泵故障（zhàng）） | 3. 檢查真（zhēn）空室密封件（O 型圈），修（xiū）複漏氣點；維護真空泵（bèng）（換油、清理（lǐ）過濾器） |
| 4. 電源內（nèi）部電壓反（fǎn）饋電路故障（zhàng） | 4. 由廠家校（xiào）準反饋電路或（huò）更換損壞元件（jiàn） |
| 過流保護頻（pín）繁觸發 | 1. 靶（bǎ）材（cái）與真空（kōng）室短路（靶（bǎ）材變形、碎屑搭（dā）橋） | 1. 停機後檢（jiǎn）查靶材，清理（lǐ）碎屑；更換變形靶材，確保靶（bǎ）材與腔體（tǐ）絕緣 |
| 2. 真空（kōng）度不足（低於工藝要求） | 2. 延長抽真空時間，檢（jiǎn）查真空泵性能；修（xiū）複漏（lòu）氣點，確保真空度≥1×10⁻³Pa（視工藝而定） |
| 3. 電源輸出參數設置過高（如電（diàn）流超限） | 3. 降（jiàng）低輸出電流（liú） / 功率（lǜ）至（zhì）額定範圍，重新設置參數並（bìng）保存 |
| 4. 過（guò）流保護電路誤動作（元件老化） | 4. 更換老化的（de）保護電路（lù）元件（如電（diàn）流傳感器、比較器） |
| 電弧放電頻繁 | 1. 真空度偏低或（huò）氣體流量不穩定 | 1. 提高真空度至工藝標準；檢查氣體流量計、閥門，確（què）保流量穩定（如氬氣流量 50-200sccm） |
| 2. 靶材表麵汙染（氧（yǎng）化、油汙） | 2. 清潔靶材表（biǎo）麵（酒精擦（cā）拭），或進行預濺射（低功率轟擊 10-20 分鍾） |
| 3. 電源弧抑製（zhì）參數設置不當 | 3. 調整脈衝電源的弧抑製時間（通常 0.1-10μs）和熄弧電流，增強滅弧能力 |
| 4. 基底與靶材距離（lí）過近 | 4. 調整工裝，增（zēng）大（dà）基底與靶材間距（通常 50-200mm，視鍍（dù）膜類型而定（dìng）） |
| 無輸出功率 | 1. 控製板故障（zhàng）（無觸發信號輸出（chū）） | 1. 檢查控（kòng）製板指示燈，更換損壞的控製板或修複觸發電路（lù） |
| 2. 功（gōng）率模塊損壞（如 IGBT、晶閘管燒毀） | 2. 檢測功（gōng）率模塊導通（tōng）性（xìng），更換同型號模塊（需專業人（rén）員操作，避免靜電損（sǔn）壞） |
| 3. 反饋信號中斷（如電壓（yā） / 電流傳感器故障） | 3. 檢查傳感器接線，更換故障傳感器 |
| 顯示異常（亂碼 / 無顯（xiǎn）示） | 1. 顯示屏損壞或排線鬆動 | 1. 重新插拔顯示屏排線（xiàn）；更換顯（xiǎn）示屏 |
| 2. 主控板程序出錯或供電異常 | 2. 重啟電源（yuán）複位程序；檢查主控板供電電壓（通常（cháng） 5V/12V），修複供電電路 |
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