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進口標杆:TRUMPF Hüttinger TruPlasma HiPIMS 4000/6000 係列
長期穩定性:≤±0.1%,納秒級脈衝控製,工業級 7×24h 連續(xù)運行。
適用(yòng):高端硬質膜、DLC、半導體 / 光學精密鍍膜(mó)。
國產對標:精新 JX-HiPIMS 係列(liè)、新鉑 HiPIM5-100A
精新:長期穩定度5×10⁻⁴(萬分之五),雙機(jī)製智能抑弧,可替(tì)代霍廷格同檔。
新鉑 HiPIM5-100A:納(nà)秒(miǎo)級檢測、多波形可控,智能溫控,適配量產。
進口標杆:TRUMPF Hüttinger TruPlasma Bias 4020 係列
電壓精度 **±0.5%,頻率穩定性30ppm**,寬負(fù)載適配(阻抗比 1:100)。
國產優選:精新 JX-MSB 係列、英能 MS 係列
精新 JX-MSB:1kHz–150kHz 寬頻,脈寬 3μs–495μs 可調,電壓(yā)精度 **±0.5%,重複性≤±0.2%**,兼容霍廷格 4020 接口。
英能 MS 係列:抑弧響應 **<500ms**,恒壓 / 恒(héng)流 / 恒功率(lǜ)三模式,效率 **≥90%**。
進口標杆:ADL GX 係列、AE MDX 係列
長期紋波 **<0.1%,輸出穩定度±0.05%**,適合光學 / 半導體鍍膜。
國產優選:精新高穩定(dìng)直流係(xì)列
長期穩(wěn)定度5×10⁻⁴,參與國家大科學工程,適配嚴苛真空環境。
長期(qī)輸出穩定度:高端型號 **≤±0.1%(萬分之一),普通≤±0.5%**。
紋(wén)波 / 噪聲:直流 **<0.1%,脈衝<1%**,越低越穩。
抑弧響應速度(dù):<500μs–1ms,保護靶材與腔體。
控製精度:電壓 / 電流 **±0.1%–±0.5%,頻率ppm 級 **。
可靠性設計:寬電壓輸入、寬溫、智能溫控、7×24h 連(lián)續(xù)運行能力(lì)。
高端精密 / 量產:優(yōu)先霍廷格 HiPIMS/Bias 4000/4020 係列;國產選精新 JX-HiPIMS/JX-MSB、新鉑 HiPIM5-100A。
中頻 / 常(cháng)規濺射:英能(néng) MS 係列、精新中頻電源,性價(jià)比與穩定性平衡。
基礎(chǔ)直流 / 離子源:精新高穩定直流、AE MDX,長期可靠。
綜合穩定性最強:TRUMPF Hüttinger TruPlasma HiPIMS 4000/6000、Bias 4020 係列(進口);精新 JX-HiPIMS、JX-MSB 係列(國產(chǎn))。
國(guó)產高(gāo)端型號(hào)已可對標進口,在穩定性(xìng)、精度、抑弧、連續運行上接近國(guó)際水平(píng),性價比更高。
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