MSB中頻磁控濺射真空（kōng）鍍膜電（diàn）源

所屬分類：MSB係列中頻電源
瀏覽次數：次
發布日期：2020-10-21 09:42:08

我要詢價

產品概述
性能特點
技術參數

主（zhǔ）要型號：

型號	功率(kW)	最大工作電流(A)	外形尺（chǐ）寸	冷（lěng）卻方（fāng）式	空（kōng）載電壓(V)	工作電壓（yā）(V)
MSB-10k	10	12.5	1單元	風冷	1000	150~800V
MSB-20k	20	25	1單元
MSB-30k	30	37.5	2單元
MSB-40k	40	50	2單元
MSB-20k	20	25	1單元	風水冷	1000	150~800V
MSB-30k	30	37.5	1單元
MSB-40k	40	50	1單元
MSB-60k	60	75	2單元
MSB-80k	80	100	2單（dān）元
MSB-100k	100	125	3單元
MSB-120k	120	150	3單元

主要特點：

A 采用（yòng）先進的電流型開關電源技術，減小輸出儲能元件，
同時提高了抑製打火及重（chóng）啟速（sù）度，應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
B 具備（bèi）恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對於傳統的恒流模式，
更能保證鍍膜工藝的重複性（xìng）。
C 具有理想的電壓陡降特性，自動識別偽（wěi）打（dǎ）火現象，
充分滿足磁控濺射工藝過（guò）程的連續（xù）性。
D 主（zhǔ）要參數可大範圍調節
E 可（kě）選擇手（shǒu）動控製/模擬量接口控製，可選配RS485通訊接口。
采用先進的PWM脈寬調製（zhì）技術，使用進口IGBT或（huò）MOSFET作為功（gōng）率開關器件，
體積（jī）小、重量輕、功（gōng）能全、性能穩定可靠，生產工藝嚴格完善。
該係列產品采用先進的DSP控製係統，充分保證鍍膜工藝的（de）重複性，
並且具有抑製靶材弧光放電及（jí）抗短路功能，
具有極佳的（de）負（fù）載匹配能力，既保證（zhèng）了靶麵清洗工藝的穩（wěn）定性，又提高了靶（bǎ）麵清洗（xǐ）速（sù）度；
主（zhǔ）要參數均可大範圍連續調節；
方便維護，可靠性高；
PLC接口和RS485接口擴展功能，方便實（shí）現自動化控製。

MSB係列雙極脈衝磁控濺射電源（中頻電源）

主要用途：

雙極脈衝磁控（kòng）濺射電源用於（yú）中頻孿生靶磁控濺金屬或非金屬材料，特別適合於反應磁控濺射。能增加（jiā）離（lí）化率，減少電荷積累引起的異常放（fàng）電（diàn），預防靶表麵中毒（dú）現象。

離子源電源

真空鍍（dù）膜電源設備

真空鍍膜（mó）電源設備（bèi）

真空鍍膜電源設備（bèi）

真空鍍膜電源設備

在真空鍍膜電源時，使用直流負偏壓電源，其中運用直流電源（yuán），這個（gè）電源的電子方向一直統一，會導致單一品（pǐn）種電荷堆積過高（gāo）與控製源（yuán）中和。也就是說用（yòng）來提供動力（lì）的正負極被中和（hé）了。然後磁控濺射將不再持續。所以選用脈衝電源。

在真空中製備膜（mó）層，包含鍍製晶態的金屬、半導體、絕緣體等單質或化合物膜。雖然化學汽相堆積也選用減壓、低壓或等離（lí）子體等真空手法，但一般真空鍍膜是指用物（wù）理的辦法堆積薄膜。真空鍍（dù）膜有三種方式，即蒸發鍍膜、濺射鍍膜和（hé）離子鍍（dù）。

真空鍍膜技能初現於20世紀30年代，四（sì）五十年代開端呈現工業使用，工（gōng）業化大（dà）規模出產開端於20世紀80年代，在電子、宇航、包裝、裝潢、燙金印刷等（děng）工業中獲得（dé）廣泛的使（shǐ）用。真空鍍膜是指在真空環境下，將某種金屬或金屬化合物以氣相的方式（shì）堆積到（dào）資料外表（通常（cháng）是非金（jīn）屬資料），歸於物理氣相堆積工藝。由於鍍層常為金屬薄（báo）膜，故（gù）也稱真空（kōng）金屬化。廣義的真空鍍膜還包含在金（jīn）屬或非金屬資料外表真空蒸鍍聚合物等非金屬（shǔ）功用性（xìng）薄膜。在（zài）所有被鍍資猜中，以塑料樶為常見，其次，為紙張鍍膜。相對於金屬、陶瓷、木材等資料，塑料具有來曆充足、性能易於調（diào）控（kòng）、加工方（fāng）便等優勢，因此品種繁多的塑料或（huò）其他高分（fèn）子（zǐ）資料作為工程裝修性結構資料（liào），大量使用於轎車、家電、日用包裝、工藝裝修等工業（yè）領域。但塑料資料大多存在外（wài）表硬度不高、外觀不行華（huá）麗、耐磨（mó）性低（dī）等缺點，如在塑料外表（biǎo）蒸鍍一層極薄的金屬薄膜，即可賦予塑料（liào）程亮（liàng）的（de）金屬外觀，合適的金屬源還可（kě）大大增加資料外表耐磨性能，大大拓寬了塑料的裝修性和使用（yòng）範圍。

真空鍍膜的功（gōng）用是多方麵的（de），這也決議了其使用場合（hé）非常（cháng）豐富。整體來說，真空鍍膜的主要功用包含賦予被鍍件外表高度金屬光澤和（hé）鏡麵效果，在薄膜資（zī）料上使膜層（céng）具有超卓的隔絕性能，提供優異的電磁屏蔽和導電效果。