北京MSD係列（liè）小功率直流（liú）磁控濺射電源

所屬分類：北京MSD係列（liè）直（zhí）流磁（cí）控濺射電源
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發布日期：2020-10-21 09:42:58

我要詢價

產品概（gài）述
性能特（tè）點
技術（shù）參（cān）數

主要型號：

型號	功率(kW)	工作（zuò）電流(A)	外形尺寸	冷卻方式（shì）	空載電壓（yā）(V)	工作電壓 (V)
MSD-500W	0.5kW	1.0	482132440 (WHD)[3U]	風冷	750	100~500V
MSD-1000W	1kW	2.0
MSD-2000W	2kW	4.0
MSD-5kW	5kW	8.0	482175550 (WHD)[4U]	風冷	1000	150~800V

主要特點：
A 采用先進的電（diàn）流型開關（guān）電源技術，減小輸出儲能元件，
同時（shí）提高了抑製打火及重啟速度，應用在鋁靶鍍膜優（yōu）勢更為明顯。
B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相（xiàng）對於傳統的恒流（liú）模式，
更能保證鍍（dù）膜工藝的重複性。
C 具有理想的電壓陡降特性，自動識別偽打火現（xiàn）象，
充分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。
D 可選擇手動控製/模擬量接口控製（zhì），可選配RS485通訊接口。
E 專門為試驗型真空設備（bèi）定製，相對生產型設備的直流磁控濺射（shè）電源，
為客戶減小電源體積（jī）和降（jiàng）低（dī）成本（běn）
采用先進的PWM脈寬調製技術（shù），使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件，
體積小、重量輕（qīng）、功能全、性能穩定可靠，生產工藝嚴格完善。
該係列產品采用先進的DSP控製（zhì）係統，充分保證鍍膜工藝（yì）的重複性，
並且具有抑製靶材弧光放電及抗短路功能，
具（jù）有（yǒu）極佳的負載匹配能力，既保證了靶麵清洗工藝的穩（wěn）定性，又提高了靶麵清洗速度；
主要參數均可大（dà）範圍（wéi）連續調節；
方便維護，可靠性高；
PLC接口和RS485接口擴展功能，方便實現自動化控（kòng）製。

主（zhǔ）要用途：

直流磁控（kòng）濺（jiàn）射用於鍍製各種金（jīn）屬。

真（zhēn）空鍍膜電源的故障現象分析及排除（chú），在實際使用的過程中，真空鍍膜機就出現過不少故障，其中高壓電源部（bù）分的故障較（jiào）多，也比較複雜，下麵就（jiù）幾種典型的故（gù）障進行分析。

真空鍍（dù）膜電源

1、增加電子束流（liú）時，高壓沒有指示

真（zhēn）空鍍膜機在正常工作的時候（hòu），設備（bèi）的主（zhǔ）開關（guān）電路（lù）中的開關管處於飽和的導通狀態，當管壓下降保持在100V左右的時候，柵極得到正偏壓50V，高壓指示6kV（或10kV）。從檢測（cè）電路上得（dé）到的電壓控製信號不足以使穩壓管擊穿導通。在不正常的（de）情況（kuàng）下，增加束流時，由於束斑的位（wèi）置（zhì）不在中心，電（diàn）子束可能會打到坩堝的邊緣，或者束斑的（de）位置在中心，但蒸鍍的材料被打穿（chuān）等原因，都會出現高（gāo）壓無指示。這是由於高壓輸出被近似短（duǎn）路，造成電子束流大於預定的值（zhí），主開關管處於截止狀態，承受（shòu）全部的（de）高壓，讓高壓無法輸出。由於打火而造成束流（liú）過大的時候，在電（diàn）流檢測電路（lù）時取得的過流信號，使得穩壓管被（bèi）擊（jī）穿導通，管壓處於導（dǎo）通狀態，這時高壓就沒有指示了。

2、無束流時，高壓指（zhǐ）示不穩定

在正（zhèng）常的情況下，即使有（yǒu）束流高壓指示也應該是穩定的，無束流時高壓指示不穩定，高壓表指針就會來回（huí）的擺動，這就是不正常情況。從（cóng）原理上分析，高壓電源和負載（zǎi）有問題都會出現這種現象。為了便於排查，先（xiān）將高壓電源和負載分開，如（rú）果問（wèn）題還在，就證（zhèng）明（míng）問題不在負載那方麵，而（ér）是在（zài）高壓電源那方麵，高壓電源是由高壓部分和自動電源的主（zhǔ）開關管（guǎn）進行切斷的。當（dāng）有束流時，高（gāo）壓（yā）指示頻繁的（de）擺（bǎi）動，就（jiù）是高壓出現連續性的過流（liú）打火（huǒ），自動複位部分就開始運行，使得高壓（yā）電源的主開關管始終處在（zài）切斷和導通這兩種狀（zhuàng）態，反映在高壓表上的指針就金頻繁的（de）擺動。在實際的修理過程中發現，有時會出現這種故障並不（bú）是由（yóu）於（yú）高壓電源內部的（de）原因，而是真空室內有汙染（rǎn），因為設備使用了很多年，鍾罩內壁上聚集了許多蒸鍍的材料。在（zài）有束流的情況下，會產生二次、三次電子，從而產生較大的假束流，使得主（zhǔ）開關管不停的導通和（hé）截止，高壓指示就不穩定了。消除這種故障，可先將電子槍、坩鍋、高壓電極進行徹底地清洗，如味（wèi）故障（zhàng）還沒有補消除，再將（jiāng）鍾罩內所有的器件和（hé）鍾罩內壁進行徹底的清洗，故障就會被消除，高壓指示就不會在頻繁的擺動了。