MSD係列小功率直流磁（cí）控濺射電源

所屬分類：MSD係列直流磁控濺射電源
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發（fā）布日期：2020-10-21 09:42:58

我要詢價

產品概（gài）述（shù）
性能特點
技術參數

主要型（xíng）號：

型號	功率(kW)	工（gōng）作電流(A)	外形尺寸	冷（lěng）卻方式（shì）	空載電壓(V)	工作電壓 (V)
MSD-500W	0.5kW	1.0	482132440 (WHD)[3U]	風冷	750	100~500V
MSD-1000W	1kW	2.0
MSD-2000W	2kW	4.0
MSD-5kW	5kW	8.0	482175550 (WHD)[4U]	風冷	1000	150~800V

主要特點（diǎn）：
A 采用先進的電流型開關電源技術，減小輸出儲能元（yuán）件，
同時提高了抑製打火及重啟速度，應（yīng）用（yòng）在鋁靶鍍膜優勢更（gèng）為明顯。
B 具備恒流/恒功（gōng）率模式可選。恒功（gōng）率模式相對於（yú）傳統（tǒng）的恒（héng）流模式，
更（gèng）能保證鍍（dù）膜工藝的（de）重複性。
C 具有（yǒu）理想的電（diàn）壓陡降特性，自動識別偽（wěi）打火現象，
充（chōng）分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。
D 可選（xuǎn）擇手動控製/模擬量接口控（kòng）製，可選配RS485通（tōng）訊接口。
E 專門為試驗型真空設備定製，相對生（shēng）產型設備（bèi）的直流磁控濺射電源，
為客戶減小電源體積和（hé）降低成本
采用先進的PWM脈寬調製技術（shù），使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關（guān）器（qì）件，
體積小、重量（liàng）輕、功能全、性能穩（wěn）定可靠，生產工藝嚴格完善。
該係列產品采用先進的DSP控製係統，充分保證鍍膜工藝（yì）的重複性，
並且具有抑製靶材弧光放電及抗短路功能，
具有極佳的負載匹（pǐ）配能力，既保證了靶麵清洗工藝的穩定性，又提高了靶（bǎ）麵清洗速度；
主要參數均可大範圍連續調節；
方便維護，可靠性（xìng）高（gāo）；
PLC接口和RS485接（jiē）口擴展功能，方（fāng）便實現自動化控（kòng）製。

主要用途：

直流磁控濺射用於鍍製各種金屬。

真空鍍膜電（diàn）源的故障現象分析及（jí）排除，在實際使用的過程中，真空鍍（dù）膜機就出現過不少故障（zhàng），其中高壓電源部分的故障較（jiào）多（duō），也比較複雜，下麵（miàn）就幾種典型的故障進行分析。

真空鍍膜電源

1、增加電子束流時，高壓沒有指（zhǐ）示

真空（kōng）鍍膜（mó）機在正常工作的時候，設備的主開關電路中的開關管處於飽和的導通狀態，當管壓下降保持在100V左右的時候，柵極得到正偏壓50V，高壓指示6kV（或10kV）。從檢（jiǎn）測電路上得到的電（diàn）壓控製信號不足以使穩壓（yā）管擊穿導通。在不正常的情（qíng）況下，增加（jiā）束流時，由於束斑的位置不在中心，電子束可能會打到坩堝的邊緣，或者束（shù）斑的位置在中心，但蒸鍍（dù）的材料被打穿等原因，都（dōu）會出現（xiàn）高壓無指示。這是由於高壓輸出被近似短路，造（zào）成電子束流大於預定的值，主開關管處於截止狀態，承受全部的高壓，讓高壓（yā）無法輸出。由於打火而造成束流過大的時候，在電流檢（jiǎn）測電路時取得的過流信號，使得穩壓管（guǎn）被擊（jī）穿導通，管壓處於導通（tōng）狀（zhuàng）態，這時高壓就沒有（yǒu）指（zhǐ）示了（le）。

2、無束流時，高（gāo）壓指示不穩定

在正常的情況下，即使有束流高壓指示也應（yīng）該是穩定的，無束流時高壓指示不穩定，高壓表指針就會來（lái）回的擺動，這（zhè）就是不正常情況（kuàng）。從原理上分析，高壓電源和負載有問題都會（huì）出現這種現象。為了便於排查，先將高壓電源和負載分開，如果問題還在，就證明問題不在負載那方麵，而是在高壓電源那方麵，高（gāo）壓電源是由高壓部分和自動電源的主開關管進（jìn）行切斷的。當有束流時（shí），高壓指示頻繁的擺動，就是高壓出現連續性的過流打火，自動（dòng）複位部分就（jiù）開始運行，使得（dé）高壓（yā）電源的主（zhǔ）開關管（guǎn）始終處在切斷和導通這兩種（zhǒng）狀態，反映在高壓表上的指針就金頻繁的擺動（dòng）。在實際的修理過程中發現，有時會出現這種故障（zhàng）並不是由於高壓電源內部的原因，而是（shì）真空室內有汙染，因為設備使用了很多年，鍾罩內壁上聚集了（le）許多蒸鍍的（de）材料。在有（yǒu）束流的情（qíng）況（kuàng）下，會產生二次、三次電子，從而產生較大的假束流，使得（dé）主開關管不停的導通和截止，高壓指示就不穩定了。消除這種故障，可先將電子槍、坩鍋、高壓電極進行徹（chè）底地清洗，如味故障還沒有補消除，再將鍾罩（zhào）內所有的器（qì）件和（hé）鍾罩內壁進行徹底的清洗，故障（zhàng）就（jiù）會被消除，高壓指示就不會在頻繁的擺動了。