武（wǔ）漢MSD係列小功（gōng）率直流磁控濺射電（diàn）源（yuán）

所屬分類：武漢MSD係列直流磁控（kòng）濺射電源（yuán）
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發布日期：2020-10-21 09:42:58

我要詢（xún）價

產品概述
性能特點
技術（shù）參（cān）數

主要型（xíng）號：

型號	功率(kW)	工作電流(A)	外形尺寸（cùn）	冷卻（què）方式	空載電壓(V)	工作電壓 (V)
MSD-500W	0.5kW	1.0	482132440 (WHD)[3U]	風冷	750	100~500V
MSD-1000W	1kW	2.0
MSD-2000W	2kW	4.0
MSD-5kW	5kW	8.0	482175550 (WHD)[4U]	風冷（lěng）	1000	150~800V

主（zhǔ）要特點（diǎn）：
A 采用先進的（de）電流型開關（guān）電源技術，減小輸（shū）出儲能元件，
同時提高（gāo）了抑（yì）製打火及重啟速度，應用在（zài）鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對於傳統的恒流模式，
更能保（bǎo）證鍍膜工藝的重複性。
C 具有（yǒu）理想的電（diàn）壓陡降特性，自動識別偽打火現象，
充分滿足磁控濺射工藝過（guò）程的連續性。
D 可選擇手動控製/模擬量接口（kǒu）控製，可（kě）選配RS485通訊接口。
E 專門為試驗型真空設備定製，相對生產型設備的直流磁控濺射電源，
為客戶減小電源體積和降低成本
采用先進的PWM脈寬調製技術，使用進口IGBT或（huò）MOSFET作為功率開關器（qì）件，
體積小（xiǎo）、重量輕（qīng）、功（gōng）能全、性能穩定可靠，生產工藝嚴格完善。
該係列產品采用先進的DSP控製係統，充分保證鍍膜工藝的重複性，
並且具（jù）有抑製（zhì）靶材弧（hú）光放電及抗短路功能，
具有極佳的負載匹配（pèi）能力，既保證了（le）靶麵清洗工藝的穩定性，又（yòu）提高了（le）靶麵清洗速度；
主要參數均可大（dà）範圍連續調節；
方便維護（hù），可靠性高；
PLC接口和RS485接口擴展功能，方便實（shí）現自動化控製。

主要用途：

直流（liú）磁控濺射用於鍍製各種（zhǒng）金屬。

真空鍍膜電（diàn）源的故障現象分析及排除，在實際使用的過程中，真空鍍膜機就出現過不少故障，其中高壓電源部分（fèn）的故障較多，也比較複雜，下麵就幾（jǐ）種典型的（de）故障進行分析（xī）。

真（zhēn）空鍍膜電源

1、增（zēng）加電子束流時，高壓沒有指（zhǐ）示

真空鍍膜機在正常工作的（de）時候，設備的（de）主開（kāi）關電（diàn）路（lù）中（zhōng）的（de）開關管處於飽和（hé）的（de）導通狀（zhuàng）態，當管壓下降（jiàng）保持在100V左右的時候，柵極得到正偏壓50V，高壓指示6kV（或10kV）。從檢測電路上得（dé）到的電壓控製信（xìn）號不足以使穩壓管（guǎn）擊穿（chuān）導通。在不正常的情況下，增加（jiā）束流時，由於束斑的（de）位置不在中心，電（diàn）子束可能會（huì）打到坩堝的邊（biān）緣，或者束斑（bān）的位置在中心，但蒸鍍的材料被打穿等原因（yīn），都會出現高壓無指示。這是由於高壓輸出被近似短路，造成電子束流大於預定的值，主開關管處於截（jié）止狀（zhuàng）態，承（chéng）受全部的高壓，讓高壓（yā）無法輸出。由於打火而造成束流過大的時候（hòu），在電流檢測電（diàn）路時取得的過流信號，使得穩壓管被擊穿導通，管壓處於導通狀態，這時高壓就沒有指示了。

2、無（wú）束流時，高壓指示不穩定（dìng）

在正常的情況下，即使有（yǒu）束流高壓指示也應該是穩定的，無束流時高壓指（zhǐ）示不穩定，高壓表指針就會來回的擺動，這（zhè）就是不正常情況。從原理上分析，高壓電源和負載有問題都會出現這種現象（xiàng）。為了便於排查，先將高壓（yā）電源和負載分開，如果問題還在，就證明問題不在負載那方麵，而是在（zài）高壓電源那方麵，高壓電源是由高壓部分和（hé）自動電源（yuán）的主開關管進行切斷的。當有（yǒu）束流時，高壓指示頻繁的擺動（dòng），就是高壓出現連續性的過流打火，自動複位部分就（jiù）開始運行，使得高壓電源的主開關管始終處（chù）在切斷（duàn）和導通這兩（liǎng）種狀態，反映在高壓表上的指針就金頻繁的擺動。在實際的修理過（guò）程中發現，有時會（huì）出現這種故障並不是由於高壓電源內部的原因，而是真空室內有汙染，因為設（shè）備使用了很多（duō）年，鍾罩內壁上聚集了許多蒸鍍的（de）材料。在有束（shù）流的情況下，會（huì）產生二次、三次（cì）電（diàn）子，從（cóng）而產生較大的假束流，使得主開關管不停的導通和截止，高壓指示就不（bú）穩定了。消除這種（zhǒng）故障，可先將電（diàn）子槍、坩鍋、高壓電極進行徹底地（dì）清洗（xǐ），如味故障還沒有補消除，再將（jiāng）鍾罩內所有的器件（jiàn）和鍾罩內壁進行徹底的清洗，故障就（jiù）會被消除，高壓（yā）指示就不會在頻繁的擺動了。