上海MSD係列小功率直流磁控濺（jiàn）射電源

所屬分（fèn）類：上海MSD係列直流磁控濺射電源
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發布（bù）日期：2020-10-21 09:42:58

我要詢價

產品（pǐn）概述（shù）
性能特點
技術參（cān）數

主要型號：

型號	功率(kW)	工作電流(A)	外形尺（chǐ）寸	冷卻方式	空載電壓(V)	工作（zuò）電壓 (V)
MSD-500W	0.5kW	1.0	482132440 (WHD)[3U]	風冷	750	100~500V
MSD-1000W	1kW	2.0
MSD-2000W	2kW	4.0
MSD-5kW	5kW	8.0	482175550 (WHD)[4U]	風冷	1000	150~800V

主要特點：
A 采用先進的電流型開關電源技術，減小輸（shū）出儲能元件，
同時（shí）提高（gāo）了抑製打火及重啟速度，應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率（lǜ）模式相對於傳統的恒流模式（shì），
更能保證鍍膜工藝的重複性。
C 具有理想的電壓陡降特（tè）性，自動識別偽打火（huǒ）現象，
充分（fèn）滿足磁控濺射工藝（yì）過程的連續性。
D 可選擇手動控製/模擬量接口控製，可選配RS485通訊接口。
E 專門為試驗型真空（kōng）設（shè）備定製，相對生產（chǎn）型設備的直流磁控（kòng）濺射（shè）電源，
為客戶減小電源體積和降低成本
采用先進的PWM脈寬調（diào）製技術，使用進口IGBT或（huò）MOSFET作為功率開關器件，
體積小、重量輕、功（gōng）能全、性能（néng）穩定可靠，生產工藝嚴格完善。
該係列產品采用先進的DSP控製（zhì）係（xì）統，充分保證鍍（dù）膜（mó）工藝的重複性，
並且（qiě）具有抑製靶材弧光放（fàng）電及抗短路（lù）功能，
具有極佳的負載（zǎi）匹配能力，既保證了靶麵清洗工藝的穩定性，又提高了靶麵清（qīng）洗速度；
主要參數均可大範圍連續調節；
方便維護，可靠性（xìng）高；
PLC接口和RS485接口（kǒu）擴展功能，方便實現自動化控製。

主要用途：

直流磁控濺射用於（yú）鍍製各種金屬。

真空鍍膜電源的故障現象分析及排除，在實際使用的過程中，真空鍍膜（mó）機就出現過不少故障，其中高壓電源部分的故（gù）障較多（duō），也比較複雜，下麵就幾種典型的故障進行分析。

真空（kōng）鍍膜電源

1、增加電（diàn）子束流（liú）時，高壓沒（méi）有指（zhǐ）示

真空鍍膜機在正（zhèng）常工作的時候（hòu），設備的主開關電路中的開關管處於飽和的導通狀態，當管壓下降保持在100V左右的時（shí）候，柵極得到（dào）正偏壓50V，高壓指示（shì）6kV（或10kV）。從檢測電路上得到的電壓控製信號不足以使穩壓管擊穿導通。在不正常的情況下，增加束（shù）流時（shí），由於束斑的位置不在中心，電子束可能會打到坩堝的（de）邊緣，或者束斑的位置在中心，但蒸鍍的材料（liào）被（bèi）打（dǎ）穿等原因（yīn），都會出現高壓無指示。這是由於高壓輸出被近似短路，造（zào）成電子束流大於預定的值，主開關管處於截止狀態，承受全部的高壓，讓高壓無法輸出。由於打火而造成束流過大的時候，在（zài）電流檢測電路時取得的過流信號，使（shǐ）得穩壓管（guǎn）被擊穿導通，管壓處於導通（tōng）狀態，這時高壓（yā）就沒有指示了。

2、無束流時，高壓指示不穩定

在正（zhèng）常的情況下，即使有束流高壓指（zhǐ）示也應該（gāi）是（shì）穩定的，無束流時高（gāo）壓指示（shì）不穩定，高壓表指針就會來回的擺動，這就是不正常情況。從原理上分析，高壓電（diàn）源和負載有（yǒu）問題都會出現這種現象。為（wéi）了便於排查，先將高壓電源和負載分開，如果問題（tí）還在（zài），就證明問題不（bú）在負載那方麵，而是（shì）在高壓電（diàn）源那方麵，高壓電源是由高壓部分和自（zì）動電源的主開關管進（jìn）行切斷的。當有束流（liú）時，高壓指示頻繁的（de）擺動，就是高壓出現連續性的過流打火，自動複位部分就開始運行，使得高壓電源的主開關管（guǎn）始終處在切斷和導通這兩種狀（zhuàng）態，反映在高壓表上的指針就金頻繁（fán）的（de）擺（bǎi）動。在實際的修理過程中發現，有時會出現這種故障並不是由於高壓電源內部的原因，而是真空室內有汙染，因為（wéi）設（shè）備使用了很多年，鍾罩內壁上聚集了（le）許多蒸鍍的材料。在有束流的情況下，會（huì）產生二次、三次電子，從而產生較大的假束流，使得（dé）主開關管（guǎn）不停的導通和截止，高壓指示就不穩定了。消除這種故障，可先將（jiāng）電子槍、坩鍋、高壓電極進行（háng）徹底地清洗，如味故障還（hái）沒有補（bǔ）消除，再將鍾罩內所有的器件和鍾罩內壁進行（háng）徹底的清洗，故障就會被消（xiāo）除，高壓指（zhǐ）示就不會在頻繁的擺動了。